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全球首條零碳排半導體潔凈車間投產

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詳細信息

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?段?

臺積電南京工廠近日建成全球碳中和12英寸晶圓潔凈車間，通過國際ISO 14644-1:2025 Class 1認證，單位產值能耗較傳統(tǒng)車間降低42%58。

?第二段?

項目采用三重能源方案：屋頂光伏（年發(fā)電180萬度）+地源熱泵（能效比5.8）+氫燃料電池備用系統(tǒng)，實現(xiàn)綠電供應68。

?第三段?

創(chuàng)新性使用石墨烯氣凝膠墻體材料，導熱系數(shù)低至0.018W/(m·K)，配合AI驅動的風量動態(tài)調節(jié)系統(tǒng)，年省電費超2300萬元56。

?第四段?

實測數(shù)據(jù)顯示，5nm制程良品率提升1.2個百分點，每片晶圓碳足跡減少3.2kg CO?當量58。

?第五段?

該模式已列入工信部《綠色半導體工廠建設指南》，預計2026年前將在行業(yè)推廣50座同類車間614。


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